江崎供應日本SMC氣動真空閥XLD-40K-M9

高真空角（L 形）閥，用于防止泵在過載時運行。

[功能]

·初始排氣閥和主排氣閥一體化（兩段式流量控制閥）

? 實現系統緊湊化和節省

配管? 排氣時防止灰塵在腔室內卷起

? 初始排氣閥流量可調

? 氣動型/帶電磁閥

? 由于排氣量少，因此泵容量小，可縮短

排氣時間? 不含Ni（鎳）和Cr（鉻）等重金屬，濺射率低，因此晶圓

上的重金屬污染很少? 強氟

·均勻的烘烤溫度。導熱性好，全身溫度均勻，大大降低產品粘附

性重量輕、結構緊湊

江崎供應日本SMC氣動真空閥XLD-40K-M9

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